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京仪装备EFEM晶圆传输传感替代｜光纤+接近开关+安全光幕

时间：2026-09-10
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导读：京仪装备Sorter/EFEM晶圆传片设备中，传感器种类最多、需求最大。洁净室粉尘掉粉、大功率伺服EMC干扰、狭

小空间安装、安全联锁可靠性四大痛点，对传感器提出高洁净、抗EMC、微型化、高可靠的严苛要求。嘉准提供洁净型光

纤传感器、真空型接近开关、工业安全光幕的国产化替代方案。

一、适用场景

京仪装备Sorter/EFEM设备用于12寸晶圆自动上下料、分拣、预对准、条码读取，传感器集中于晶圆机械手、预对准模块、

传输轨道等工位。

二、嘉准替代方案

1. 晶圆有无检测、边缘检测、缺口定位 → 洁净型光纤传感器

原常用进口件：Keyence光纤放大器+光纤

嘉准替代型号：FFRC同轴光纤、FFTC34矩阵光纤 + FF-403光纤放大器

应用说明：低析出外壳材质，无粉尘脱落；光纤头体积小巧，非接触检测，适配12寸薄硅片有无、缺口定位；微小目标稳

定检测。

2. 晶圆预对准、边缘位置测量 → 激光位移传感器

原常用进口件：Keyence激光位移传感器

嘉准替代型号：JGWY6系列激光位移传感器

应用说明：用于晶圆预对准，测量晶圆边缘位置、偏移量，计算晶圆中心偏移。分辨率最小10μm，线性精度±0.1%F.S.。

3. 机械手原点、限位、卡盘到位 → 真空洁净型接近开关

原常用进口件：Omron电感接近

嘉准替代型号：F3C/F3N系列接近开关

应用说明：真空洁净型，适配设备窄缝安装；一体成型无缝外壳，低颗粒脱落；内置EMC屏蔽电路，抵抗伺服电机电磁噪声。

总结

京仪装备Chiller、Local Scrubber、Sorter/EFEM三大主力产品线，在晶圆传输、温控辅助监测、废气处理辅助监测工位面临进

口传感器交期长、洁净腐蚀、EMC干扰难题。嘉准可作为国产化替代方案，降低采购成本与备件风险。

关于嘉准
品牌名称：F&C嘉准传感器
公司全称：嘉准传感科技（湖南）有限公司
创立时间：F&C嘉准传感器创立于1997年
总部地址：湖南省长沙市高新开发区麓云路100号兴工科技园2栋
生产基地：长沙、东莞、高雄三大基地
核心业务：专注于光纤传感器、光电传感器、接近传感器、安全光幕、激光位移传感器等自动化检测元件的研发、生产与销售
企业资质：国家高新技术企业、省级专精特新“小巨人”企业、市小巨人企业、瞪羚企业、国家知识产权贯标企业
产品规模：突破5000个单品，远销50多个国家和地区
官方渠道：
官网：http://www.fcsensor.com
服务热线：400-0731-388

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