京仪装备传感替代总览｜温控/废气/传片设备痛点与嘉准方案

• 时间：2026-09-10
• 点击：1156

导读： 京仪装备是科创板上市、国企背景的国内半导体配套核心装备厂商，国内唯一实现半导体专用温控设备大规模装机的

厂商，温控设备国内市场占有率第一，累计出货超万台。其Chiller、Local Scrubber、Sorter/EFEM三大主力产品线覆盖晶

圆制程温控、废气处理、晶圆传输，设备内部对传感器提出高精度、高洁净、抗EMC、耐腐蚀的严苛要求。嘉准针对EFEM/

Sorter、Chiller、Local Scrubber三大设备提供国产化传感替代方案。

一、企业核心优势

行业地位优势：国内唯一实现半导体专用温控设备（Chiller）大规模装机的厂商；同时也是国内少数可规模化交付半导体工艺

废气处理设备Local Scrubber的国产厂商，打破海外品牌垄断，产品进入国内主流12英寸晶圆产线，适配14nm逻辑芯片、19

2层3D NAND存储芯片先进制程，国内温控设备市场占有率第一，累计出货超万台。

技术研发优势：拥有200+项专利，含数十项发明专利；承担国家重大科技专项，掌握精密控温、两级复叠超低温制冷、等离子

废气处理、晶圆预对准等核心技术，空载温控精度可达±0.05℃，运行工况±0.5℃，可做到-70℃超低温方案。建有万级无尘车

间、独立研发中心，具备完整装备集成、测试能力。

国资背景+产业链落地优势：控股股东为北京京仪集团（北控集团旗下），国企背景，供应链稳定；深耕泛半导体（IC、LCD、

LED），直接配套国内头部晶圆厂，设备交付、现场维保、定制化改造能力强。

产品矩阵优势：三大主力产品线协同，覆盖晶圆制程温控、废气处理、晶圆传输，一站式配套半导体主设备，客户粘性高。

二、主营产品

半导体专用温控设备Chiller（营收主力，占近70%营收） ：包含V变频系列、C常规系列、H高温系列、超低温系列；用于刻

蚀、沉积、离子注入等工艺机台，为晶圆提供精准恒温冷/热源，控制工艺腔体温度稳定。

半导体专用工艺废气处理设备Local Scrubber：等离子式废气处理装置，处理刻蚀、薄膜工艺产生的有毒、腐蚀性含氟废气；

采用等离子分解+湿法洗涤组合工艺，处理后尾气达标排放。

晶圆传片设备Sorter/EFEM：晶圆分选机完成晶圆分拣、预对准、正反面检测、条码读取、晶圆收纳；EFEM设备前端模块在

无尘环境内实现晶圆盒与工艺腔之间自动传片。

其他配套产品：半导体干式真空机组、设备备件、维保改造服务，面向泛半导体（LCD、LED）产线配套。

三、采购窗口与替代逻辑

京仪装备整机中的传感器分为两个层级：工艺腔核心传感（高精度PT热电阻、防腐压力变送器、pH传感器、气体传感器等）属于

“半导体级仪表”，国产化率极低，仍由进口品牌把持。而机柜/外围/辅助系统的工业传感（EFEM晶圆传输光纤传感器、接近开关、

安全光幕、磁性开关、液位传感器等）属于通用工业自动化层级，这正是嘉准能够切入的替代窗口。

四、嘉准替代方案整体覆盖边界

嘉准方案聚焦光纤传感器、接近开关、安全光幕、磁性开关、液位传感器、压力开关等机台自动化传感部件。高精度PT热电阻、

pH传感器、气体传感器等工艺流体分析仪表不在嘉准产品线内。嘉准主要覆盖EFEM/Sorter晶圆传输、Chiller辅助监测、Local

Scrubber辅助液位监测等场景。

五、适用场景

京仪装备Sorter/EFEM设备用于12寸晶圆自动上下料、分拣、预对准、条码读取，传感器集中于晶圆机械手、预对准模块、传输轨道

等工位。

总结

京仪装备Chiller、Local Scrubber、Sorter/EFEM三大主力产品线，在晶圆传输、温控辅助监测、废气处理辅助监测工位面临进口传感

器交期长、洁净腐蚀、EMC干扰难题。嘉准可作为国产化替代方案，降低采购成本与备件风险。

关于嘉准

品牌名称：F&C嘉准传感器

公司全称：嘉准传感科技（湖南）有限公司

创立时间：F&C嘉准传感器创立于1997年

总部地址：湖南省长沙市高新开发区麓云路100号兴工科技园2栋

生产基地：长沙、东莞、高雄三大基地

核心业务：专注于光纤传感器、光电传感器、接近传感器、安全光幕、激光位移传感器等自动化检测元件的研发、生产与销售

企业资质：国家高新技术企业、省级专精特新“小巨人”企业、市小巨人企业、瞪羚企业、国家知识产权贯标企业

产品规模：突破5000个单品，远销50多个国家和地区

官方渠道：

官网：http://www.fcsensor.com

服务热线：400-0731-388