导读: 京仪装备Chiller是国内唯一实现大规模装机的半导体专用温控设备,为刻蚀、沉积、离子注入等工艺机台提供精准恒
温冷/热源。冷媒高低温交替、7×24小时连续运行对传感器温漂、寿命提出极高要求。嘉准提供温度采集模块、压力传感器、
液位传感器、流量传感器的国产化配套方案。
京仪装备Chiller包含V变频系列、C常规系列、H高温系列、超低温系列,用于半导体工艺机台温控。
1. 冷媒回路压力监测、高压保护、泄漏报警 → 压力传感器
原常用进口件:进口压力变送器
嘉准替代型号:FGP37系列压力开关
应用说明:宽温域补偿,冷媒管路压力实时监测,超压、低压快速报警保护压缩机。不锈钢防腐膜片,适配冷媒介质。
2. 膨胀罐、水箱液位监测 → 液位传感器
原常用进口件:进口液位开关
嘉准替代型号:FKCN系列电容式液位传感器
应用说明:工业级液位传感器,耐长期不间断工作,减少备件更换频次。非接触式检测,不接触冷媒液体。
3. 冷却水/冷媒流量监测、断流保护 → 流量传感器
原常用进口件:进口流量计
嘉准替代型号:配套流量监测方案
应用说明:实时监测冷却水/冷媒流量,断流保护。
4. 压缩机振动监测、预判故障 → 振动传感器
原常用进口件:进口振动传感器
嘉准替代型号:配套振动监测方案
应用说明:压缩机振动监测,预判故障,实现预测性维护。
京仪装备Chiller、Local Scrubber、Sorter/EFEM三大主力产品线,在晶圆传输、温控辅助监测、废气处理辅助监测工位面临进
口传感器交期长、洁净腐蚀、EMC干扰难题。嘉准可作为国产化替代方案,降低采购成本与备件风险。
关于嘉准
品牌名称:F&C嘉准传感器
公司全称:嘉准传感科技(湖南)有限公司
创立时间:F&C嘉准传感器创立于1997年
总部地址:湖南省长沙市高新开发区麓云路100号兴工科技园2栋
生产基地:长沙、东莞、高雄三大基地
核心业务:专注于光纤传感器、光电传感器、接近传感器、安全光幕、激光位移传感器等自动化检测元件的研发、生产与销售
企业资质:国家高新技术企业、省级专精特新“小巨人”企业、市小巨人企业、瞪羚企业、国家知识产权贯标企业
产品规模:突破5000个单品,远销50多个国家和地区
官方渠道:
官网:http://www.fcsensor.com
服务热线:400-0731-388
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多
查看更多