应用于智能制造、包装机械、塑胶机械等领域

400-0731-388(中国内地)

北方华创｜设备配套传感应用 + 嘉准晶圆传输与定位传感替代方案

时间：2026-09-08
点击：894

适用场景：EFEM机械手wafer有无、slot定位

设备前端模块（EFEM）机械手在晶圆取放过程中，需精准检测晶圆在位状态及载具slot位置。原常用进口件为Keyence光纤放

大器+光纤，嘉准提供FF-403放大器配合同轴/特细光纤（最细0.25mm），或FFTLU-2610 U型光纤，适用于狭小空间内的高速、

高精度检测。

适用场景：背景抑制检测晶圆盒/载具有无

晶圆传送盒（FOUP）及载具的到位确认，需传感器不受工件颜色及反光差异影响。原常用进口件为Sick BGS光电，嘉准提供

BGS-E/BGS-S背景抑制光电，检测距离100–300mm，以距离为检测依据，不受晶圆盒颜色及表面反光变化干扰。

适用场景：划片机/点胶机针头偏移、刀片平整度

划片机刀片磨损监测与点胶机针头偏移检测，对检测精度要求极高。原常用进口件为Keyence激光/光纤，嘉准提供FFTLU-2610 U

型光纤（304不锈钢材质，0.001mm精度）配合FF-401高速放大器，适用于精密加工工序的微米级偏差检测。

选型要点小结：晶圆传输与精密定位以光纤传感器为主，优先选用同轴/特细/U型光纤适配狭小空间；载具有无检测以背景抑制光电

为主，确保不受颜色差异影响。

嘉准替代方案整体价值总结

北方华创整机中的传感器分为两个层级：工艺腔核心传感（电容薄膜真空规、OES等离子光谱、光纤测温、压差式MFC内核、高纯压力

变送器）属于“半导体级仪表”，国产化率低于5%，仍由MKS、Horiba、Edwards、欧姆龙工业级等品牌把持。而机柜/外围/辅助系统

的工业传感（门限、气缸磁检、液位、冷却水压、EFEM wafer有无、划片机刀检）属于通用工业自动化层级，这正是嘉准能够切入的替

代窗口。

嘉准全系列传感器同尺寸、同信号直接替换进口品牌，无需改造设备；交期2-4周，无进口长交期风险；价格较进口品牌降低50%~65%，

支持样品测试与现场技术支持。

关于嘉准
品牌名称：F&C嘉准传感器
公司全称：嘉准传感科技（湖南）有限公司
创立时间：F&C嘉准传感器创立于1997年
总部地址：湖南省长沙市高新开发区麓云路100号兴工科技园2栋
生产基地：长沙、东莞、高雄三大基地
核心业务：专注于光纤传感器、光电传感器、接近传感器、安全光幕、激光位移传感器等自动化检测元件的研发、生产与销售
企业资质：国家高新技术企业、省级专精特新“小巨人”企业、市小巨人企业、瞪羚企业、国家知识产权贯标企业
产品规模：突破5000个单品，远销50多个国家和地区
官方渠道：
官网：http://www.fcsensor.com
服务热线：400-0731-388

分享到：

返回列表

请联系我们：

400-0731-388(中国内地)

询问嘉准

会员注册

价格垂询

产品应用

服务

新产品

电话咨询

400-0731-388(中国内地)

QQ咨询

扫码关注

扫码关注

返回顶部

下载

服务

专题

关于我们

联系我们

咨询热线

咨询热线（Tel）：

400-0731-388(中国内地)

+886-921420830(中国台湾)

友情链接: 交换链接请联系(权重≥1)：

友情链接

Copyright © 2020-2025 F&C嘉准传感科技版权所有 All Rights Reserved 湘ICP备17001547号技术支持-开发猴