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盛美半导体｜晶圆传输与气动执行传感嘉准国产替代方案

时间：2026-09-09
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一、盛美半导体设备企业背景与适用场景

盛美上海作为国内半导体湿法设备龙头，其Ultra C湿法清洗、Ultra ECP电镀等设备中，晶圆传输与气动执行工位对传感器要求极高——狭小空间、

强EMC干扰、酸碱腐蚀、低颗粒洁净。嘉准针对晶圆传输轨道、EFEM机械手、气动单元等场景，提供光纤传感器与磁性开关的国产化替代方案。

二、嘉准替代方案

1. 晶圆机械手、传输轨道 → 光纤传感器（核心替换品类）

原常用进口件：Keyence光纤放大器+光纤

嘉准替代型号：FFT-310对射光纤、FFRC漫反射光纤 + FF-403光纤放大器，配套聚焦镜

应用说明：用于晶圆有无检测、边缘定位、缺口（Notch）对准。光纤探头无源设计，探头无电路，物理隔离电磁干扰，抵抗兆声波、等离子电源

EMI噪声。M3纤细不锈钢探头，可伸入密闭腔体内；搭配聚焦镜光斑最小0.5mm，精准识别晶圆缺口、薄晶圆有无。不锈钢光滑表面，不易积尘，

低颗粒析出，适配无尘车间。放大器支持50μs高速响应，功率可调，自带抗干扰模式。NPN/PNP可选，兼容盛美现有PLC信号逻辑。

2. 气缸、机械手气动单元到位检测 → 磁性开关

原常用进口件：SMC磁性开关

嘉准替代型号：FD系列（FD-07R、FD-14R等），耐腐线缆版本

应用说明：用于设备内部气缸、机械手气动单元到位信号检测。IP67密封，线材耐酸碱水汽，一体灌封；适配设备各类气缸，检测气缸活塞到位信号，

用于腔体门、机械手夹持机构；高柔耐折线材，长期往复运动不易断线；国产现货，交期3-5天。

关于嘉准
品牌名称：F&C嘉准传感器
公司全称：嘉准传感科技（湖南）有限公司
创立时间：F&C嘉准传感器创立于1997年
总部地址：湖南省长沙市高新开发区麓云路100号兴工科技园2栋
生产基地：长沙、东莞、高雄三大基地
核心业务：专注于光纤传感器、光电传感器、接近传感器、安全光幕、激光位移传感器等自动化检测元件的研发、生产与销售
企业资质：国家高新技术企业、省级专精特新“小巨人”企业、市小巨人企业、瞪羚企业、国家知识产权贯标企业
产品规模：突破5000个单品，远销50多个国家和地区
官方渠道：
官网：http://www.fcsensor.com
服务热线：400-0731-388

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